X axis: | 200mm | Straightness: | 0.6μm /100mm |
---|---|---|---|
Z1(range)Sensor: | 40mm(Roughness range synchronization) | Z2 (Height): | 550mm |
ハイライト: | SRT-680G デジタル粗さ計,精密粗さ・輪郭形状測定機 |
X軸 | 200mm |
真直度 | 0.6μm /100mm |
Z1 (範囲) センサー | 40mm (粗さ範囲同期) |
Z2 (高さ) | 550mm |
パラメータ | 仕様 | 分解能 |
---|---|---|
X軸 | 200mm | 0.1μm |
真直度 | 0.6μm /100mm | -------- |
Z1 (範囲) センサー | 40mm (粗さ範囲同期) | 0.05μm |
最小内径 | 30mm (特殊な針を使用すれば、より小さい直径も可能) | ---------- |
直線性精度 | ≤±(1+I0.12HI)μm | -------- |
水平/垂直距離、直線距離、半径、直径
水平角度、垂直角度、交差角度
平行度、垂直度、真直度、クラウン、円弧プロファイル
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